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场发射扫描电子显微镜简介
2016-12-15 10:29   审核人:   (点击: )

场发射扫描电子显微镜

1仪器厂家及型号:日本电子株式会社,JSM-7800F;

2测试内容:固体样品的微观形貌、结构,样品的微区元素成份及线分布、面分布等(配备X射线能谱仪);

3.真空度:电子枪室高真空10-7Pa,提供离子泵专用的UPS,延时200小时以上,样品室真空10-4Pa;

4.泵系统:磁悬浮涡轮分子泵、2台离子泵和1台机械泵;

5.电子枪:高稳定性浸没式肖特基(Schottky)热场发射电子源,能自动合轴调整;

6.技术指标:

分辨率:0.8nm (15kV) 1.2nm (1kV)

放大倍数: 25-1,000,000x

加速电压: 0.01-30kV

束流强度: 200nA(15kV)

物镜设计:超级混合式物镜

样品台: 5轴马达驱动

测试联系人:张连营  lyzhang@qdu.edu.cn

 

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