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场发射扫描电子显微镜
2016-12-15 10:29   审核人:   (点击: )

场发射扫描电子显微镜

1. 仪器厂家及型号:日本电子株式会社,JSM-7800F

2. 测试内容:固体样品的微观形貌、结构,样品的微区元素成份及线分布、面分布等配备X射线能谱仪

3. 真空度:电子枪室高真空10-7Pa,提供离子泵专用的UPS,延时200小时以上,样品室真空10-4Pa

4. 泵系统:磁悬浮涡轮分子泵、2台离子泵和1台机械泵;

5. 电子枪:高稳定性浸没式肖特基(Schottky)热场发射电子源,能自动合轴调整;

6. 技术指标:

分辨率:0.8nm (15kV) 1.2nm (1kV)

放大倍数:25-1,000,000x

加速电压:0.01-30kV

束流强度:200nA(15kV)

物镜设计:超级混合式物镜

样品台:5轴马达驱动


测试联系人:张连营  lyzhang@qdu.edu.cn

 

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