测试内容

XPS，AES，UPS，刻蚀，深度剖析

光源

Al Kα单色化X射线源，以及Mg/Zr靶

主要技术指标

1. 真空度可达10-8 Pa；

2. 能量分辨率对Ag3d5/2峰，半峰宽（FWHM）优于0.48 eV

3. 成像分辨率可达10 μm

4. X射线聚焦束斑直径10 μm至400 μm；分析面积可达：Ø 10 μm ~ 1400 μm × 1400 μm

5. 配有双束中和系统

仪器主要功能

各种固体材料，及膜材料的元素组成，价态及化学环境分析

主要附件

Mg/Zr双阳极，扫描俄歇附件（AES），冷热样品台，原位气体反应装置，紫外电子源（UPS）等

测试联系人

刘雪华  liuxuehua@qdu.edu.cn