场发射扫描电子显微镜

1. 仪器厂家及型号：日本电子株式会社，JSM-7800F；

2. 测试内容：固体样品的微观形貌、结构，样品的微区元素成份及线分布、面分布等（配备X射线能谱仪）；

3. 真空度：电子枪室高真空10^-7Pa，提供离子泵专用的UPS，延时200小时以上，样品室真空10^-4Pa；

4. 泵系统：磁悬浮涡轮分子泵、2台离子泵和1台机械泵；

5. 电子枪：高稳定性浸没式肖特基(Schottky)热场发射电子源，能自动合轴调整；

6. 技术指标：

分辨率：0.8nm (15kV) 1.2nm (1kV)

放大倍数：25-1,000,000x

加速电压：0.01-30kV

束流强度：200nA（15kV)

物镜设计：超级混合式物镜

样品台：5轴马达驱动

测试联系人：刘雪华  liuxuehua@qdu.edu.cn